インフィニオンテクノロジーズのドレスデン300mm生産モジュールが竣工
独インフィニオンテクノロジーズは本日、ドレスデンに建設していた世界初の300mmウェハ対応生産モジュール（クリーンルーム）が竣工し、設備搬入、据 え付けを開始すると発表しました。300mm生産モジュールは2000年5月に着工されたもので、生産設備の搬入・据え付けが終われば、総投資額は約11億ユーロに達します。イ ンフィニオンの300mmモジュールは世界で初めて300mmプロセスを導入する半導体工場となります。
ヨハン･ハーター（メモリ製品事業部フロントエンド担当シニアバイスプレジデント兼インフィニオンテクノロジーズドレスデン社マネージングディレクタ）は、「 300mm技術で業界を大きくリードすることによりインフィニオンは、半導体の生産コスト低減に関してさらに優位な立場に立つことになります」と、述べました。
新モジュールは2002年末にフル稼動の予定で、生産開始時点には0.14μmプロセスを採用した256MビットDRAMを生産します。さらに、インフィニオンの技術ロードマップに基づき、生 産品目を広げる計画です。
ペーター・キュッヒャー（インフィニオンテクノロジーズSC300社バイスプレジデント兼マネージングディレクタ）は、「300mm生産技術により、イ ンフィニオンはチップあたりコストの大幅低減を実現します。300mmチップの量産は半導体の製造コスト引き下げに不可欠です。これまで使われてきた200mm技術と比較して、大 型サイズのシリコンウエハ上で約2.5倍もの個数のチップが得られます」と、語りました。
300mm技術の開発・生産を担当するのは、インフィニオンテクノロジーズSC300社です。同社には、ライプチヒ見本市会社が１億1,800万ユーロ、M＋Wツァンダー社（ ジェノプティックの子会社）が5,100万ユーロの出資を行っています。M＋Wツァンダー社は半導体プラントの企画・建設で世界的に著名な企業です。量産開始時の採用予定人員は約1,100人、3 00mmシリコンウエハ製品の生産開始予定は2001年下半期です。
インフィニオンの300mm技術は、ドレスデンにおいて、モトローラ社との合弁会社「セミコンダクター300」によって開発されました。ザクセン州政府とドイツ連邦教育･科 学省がこのプロジェクトに対し資金助成を行いました。このパイロットラインから300mm技術による最初の64MビットDRAMが出荷されたのは1999年9月のことです。このパイロットラインは、業界誌「 セミコンダクター.インターナショナル」から2000年の最優秀生産賞を受賞したほか、当時マネージングディレクタであったペーター・キュッヒャーとホリア・A・グ レキュは2000年4月に欧州SEMI賞2000を受賞しています。
ヨハン･ハーター（メモリ製品事業部フロントエンド担当シニアバイスプレジデント兼インフィニオンテクノロジーズドレスデン社マネージングディレクタ）は、「 300mm技術で業界を大きくリードすることによりインフィニオンは、半導体の生産コスト低減に関してさらに優位な立場に立つことになります」と、述べました。
新モジュールは2002年末にフル稼動の予定で、生産開始時点には0.14μmプロセスを採用した256MビットDRAMを生産します。さらに、インフィニオンの技術ロードマップに基づき、生 産品目を広げる計画です。
ペーター・キュッヒャー（インフィニオンテクノロジーズSC300社バイスプレジデント兼マネージングディレクタ）は、「300mm生産技術により、イ ンフィニオンはチップあたりコストの大幅低減を実現します。300mmチップの量産は半導体の製造コスト引き下げに不可欠です。これまで使われてきた200mm技術と比較して、大 型サイズのシリコンウエハ上で約2.5倍もの個数のチップが得られます」と、語りました。
300mm技術の開発・生産を担当するのは、インフィニオンテクノロジーズSC300社です。同社には、ライプチヒ見本市会社が１億1,800万ユーロ、M＋Wツァンダー社（ ジェノプティックの子会社）が5,100万ユーロの出資を行っています。M＋Wツァンダー社は半導体プラントの企画・建設で世界的に著名な企業です。量産開始時の採用予定人員は約1,100人、3 00mmシリコンウエハ製品の生産開始予定は2001年下半期です。
インフィニオンの300mm技術は、ドレスデンにおいて、モトローラ社との合弁会社「セミコンダクター300」によって開発されました。ザクセン州政府とドイツ連邦教育･科 学省がこのプロジェクトに対し資金助成を行いました。このパイロットラインから300mm技術による最初の64MビットDRAMが出荷されたのは1999年9月のことです。このパイロットラインは、業界誌「 セミコンダクター.インターナショナル」から2000年の最優秀生産賞を受賞したほか、当時マネージングディレクタであったペーター・キュッヒャーとホリア・A・グ レキュは2000年4月に欧州SEMI賞2000を受賞しています。
インフィニオンについて
Information Number
INFMP200104.073e
Press Photos
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This new Infineon fab will deploy the 300-mm technology for the first time anywhere in the world. When work is completed, total investment volume will amount to approximately Euro 1.1 billion.Press PictureJPG | 1.37 mb | 1535 x 1063 px
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The first tools for Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG are unloaded from the trucks. Equipment will now be brought into the completed module (cleanroom) for installation.Press PictureJPG | 1.23 mb | 1535 x 1063 px
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"The world's first 300-mm production module for memory products, located in Dreden, is 'ready for equipment'", thus concluding the construction work begun in May 2000, explained Dr. Peter Kücher, Vice President & Managing Director Infineon Technologies SC300, during the press conference in Dresden.Press PictureJPG | 1.14 mb | 1535 x 1063 px
