インフィニオンと南亜科技が90nm技術による生産準備完了を発表メモリ製品の量産をスタート

独インフィニオンテクノロジーズと南亜科技（ナンヤテクノロジー、台湾）は、両社がドレスデン（ドイツ）にあるインフィニオンのリサーチセンターで共同開発した90nm DRAM技術の認定が順調に進んだことを発表しました。両社はすでに主要な顧客企業から90nmメモリ製品の認定を確保し、インテル社からの推奨を受けました。3 00mmウェハベースの90nmプロセス構造に基づく初のDRAM量産がドレスデンにあるインフィニオンの300mm製造ラインで開始されました。9 0nm技術を導入した世界で2番目のDRAMメーカーとなったインフィニオンは、5月末までに世界中で行っているDRAM生産の約5パーセントを110nmから90nmに切り換えました。また、台 湾に本拠を置くインフィニオンと南亜科技の合弁生産会社イノテラ・メモリーズが現在、90nmへの移行に着手しています。次世代技術ノードの早期採用は、製造コストと製品性能の大幅な改善を可能にし、D RAM生産の採算性向上のための最も重要な要素の一つとなります。

90nmプロセス構造は、従来の110nm技術と比較して、チップサイズのさらなる小型化が可能なため、ウェハ1枚当たりから生産できるチップの個数が30パーセント以上増加します。3 00mmウェハ採用とチップサイズのさらなる縮小による生産性の向上は、チップ製造単価の大幅低減を実現する基礎となります。インフィニオンと南亜科技の戦略的な開発提携は、7 0nm構造の次世代技術ノードも含んでいます。

インフィニオンの取締役会メンバーで、メモリ製品事業グループを率いるアンドレスアス・フォン・チッツェビッツは、「当社は、90nmプロセス技術に基づく先進的なDRAM製品の認定により、製 品および技術におけるリーダーシップの確保とDRAMの生産性向上への大きなマイルストーンを達成しました。南亜科技との共同開発の成功はインフィニオンが進めている提携の取り組みの効率の良さを証明し、極 めて動きの激しいDRAM業界において当社が競争力を確保する支えとなっています。」と、語りました。

南亜科技のジー・リエン（Dr. Jih Lien）社長は、「共同開発したこの90nm製品は南亜とインフィニオンの共同開発プロジェクトの有効性と効率の良さを実証しました。そ の研究開発の成果は意を強くするに足りますが、最も先進的な90nm製品の量産化によって南亜科技がDRAM分野で先導的な立場を確保したことがより重要な成果と言えます」と、述べました。

90nmプロセス構造の導入には、110nmノードの際に導入した先進的な193nmリソグラフィーの経験が大いに役立ちました。193nmリソグラフィーに関する技術は、プ ロセス構造の微細化に欠かせません。「チェッカーボード（CKB）セルアレイ」を導入することによって、複雑な高誘電率（high-k）材料を用いる代わりに標準的な表面増強を図る方法を採用したため、優 れたストレージ容量を達成することができました。

コストの優位性はともかく、より微細なプロセスサイズへの移行は、拡大するモバイル業界において高速、低消費電力のDDR2やDDR3 SDRAMを導入するうえで不可欠です。最 初のコンポーネントである512Mビット DDR SDRAMの推奨と顧客企業による認定を確保したことで、インフィニオンと南亜科技は、9 0nm技術ノードを導入した業界で2番目のDRAMメーカーとなりました。2005年下半期には512Mビット DDR2 SDRAM投入による品目拡充が見込まれます。256Mビット DDR2および1Gビット DDR2を含む他の製品も追って投入する予定です。

南亜科技について
台湾塑膠工業（Formasa Plastic Group）グループの一員である南亜科技（Nanya Technology Corporation）は、先 進的なメモリ半導体およびDRAM製品の開発、設計、生産および販売における世界的なリーダーです。南亜科技は現在、110nmプロセス技術を用いて、ウ ェハ換算で月間7万3,000枚の能力の200mm工場を2カ所運営しています。南亜は、来るべき「ナノメートル」時代で競争力を確保するため、2002年12月に独インフィニオンと組んで90nmおよび 70nmの共同開発プログラムと300nm合弁事業（イノテラ メモリーズ）を開始しました。南亜は、品質、能力、責任において世界の主要DRAMメーカーとなることを目指しています。
ウェブサイト： http://www.nanya.com

インフィニオンテクノロジーズ（Infineon Technologies AG）は、ドイツのミュンヘンに本社を置き、自動車・産業・マ ルチ市場や通信アプリケーションへ向けた半導体およびシステムソリューションと、メモリ製品を供給しています。米国ではカリフォルニア州サンノゼ、アジア太平洋地域ではシンガポール、そ して日本では東京の子会社を拠点として活動しています。2004会計年度（9月決算）の売上高は71億9,000万ユーロ、2004年9月末の従業員数は約35,600名でした。インフィニオンは、フ ランクフルトとニューヨークの証券取引所に株式上場されています。インフィニオンについての情報は次のURLをご参照ください：
本社サイト：http://www.infineon.com
日本サイト： http://www.infineon.com/jp